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鈦泵的概述：
許多化學(xué)性質(zhì)活潑的金屬元素,如鈦、鎢、鉭、鉬、鋯、釷、鈣、鋇等都具有很強(qiáng)的吸氣能力。其中由于鈦有強(qiáng)烈的吸氣能力,在室溫下性質(zhì)穩(wěn)定、不易燃燒嫌炸、易于加工成形,所以近來(lái)廣泛地用于真空技術(shù)中，并逐漸發(fā)展成為一種無(wú)污染的(指碳?xì)浠衔锒裕┏哒婵毡谩伇谩Ｔ诳煽責(zé)岷朔磻?yīng)裝置、各種加速器裝置、空間環(huán)境模擬、半導(dǎo)體元件的鈹胰技術(shù)、電真空工 業(yè)以及其它要求無(wú)污染的真空設(shè)備中，各類鈦泵的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。
目前鈦泵的抽氣機(jī)理的主要論點(diǎn)是：
①活性氣體分子碰撞在新鮮的鈦膜上,由于化學(xué)吸附，形成穩(wěn)定的化合物;隨后它又被不斷蒸發(fā)濺射而形成的新鈦膜所覆蓋,新鮮鈦腆又繼續(xù)吸附氣體分子，形成穩(wěn)定的抽氣。
②非活性氣體分子(Ar、He等惰性氣體）被電離后，在電場(chǎng)力的作用下打在鈦腠上,隨之 又被蒸發(fā)的新鈦膜“掩埋”掉。能量特別大的離子可直接打人鈦膿內(nèi)被淸除掉。沒(méi)有電離作用 的蒸發(fā)鈦泵，對(duì)惰性氣體幾乎沒(méi)有抽氣作用。
③活性氣體分子離子化后,激發(fā)為亞穩(wěn)態(tài)(或解離為單個(gè)離子）增加化學(xué)活性,使泵的抽速增加。
由于鈦泵屬于表面吸附，被抽氣體沒(méi)有樣除到以外。它有以下幾個(gè)突出特點(diǎn)：
①鈦泵對(duì)被抽氣體有明顯的選擇性。對(duì)活性氣體抽速很大,對(duì)情性氣體抽速很小,因而往 往需要其它類型的泵(如渦輪分子泵、擴(kuò)敢泵等）作為輔助泵。
②鈦泵的抽速取決于被抽氣體的種類、泵口和擋板流導(dǎo)等。蒸發(fā)鈦泵的抽速可達(dá)百萬(wàn)升每秒,冷陰極濺散離子泵的約5000L/S。
③鈦系的極限真空(無(wú)氣體負(fù)荷）除取決于惰性氣體的分壓力外,主要受鈦材在髙溫下的 出氣和鈦膜再解析的限制。蒸發(fā)鈦泵的極限真空一般為10~8Pa~ 10~9Pa,冷陰極派射離子泵 為 10_8Pa-10_10Pa.
④蒸發(fā)鈦泵的壽命由過(guò)厚的鈦膜起皮剝落、蒸發(fā)器的鈦貯藏量和燈絲壽命等因素決定。為避免欽膜起皮，鈦膜沉積面要經(jīng)嚴(yán)格的化學(xué)淸洗或打毛噴砂處理,鈦泵泵壁冷卻要良好,因 為泡度過(guò)高將引起鈦腆脫落,抽速下降,真空度變壞。第一次使用鈦泵，最好用高溫烘烤來(lái)淸除泵壁油膜或其它臟物,否則鈦膜容易膚落。
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